GB/T 1557-2006
硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法
The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
GB/T 1557-2006 中，可能用到以下儀器
- 標準號
- GB/T 1557-2006
- 發布日期
- 2006年07月18日
- 實施日期
- 2006年11月01日
- 廢止日期
- 無
- 中國標準分類號
- H17
- 國際標準分類號
- 77.040.01
- 發布單位
- CN-GB
- 引用標準
- GB/T 14264 ASTM E 131
- 代替標準
- GB/T 1557-2018
- 被代替標準
- GB/T 1557-1989 GB/T 14143-1993
- 適用范圍
- 本標準規定了采用紅外光譜法測定硅單晶中的間隙氧含量的方法。 本標準適用于室溫電阻率大于0.1Ω?cm的n型硅單晶和室溫電阻率大于0.5Ω?cm的p型硅單晶中間隙氧含量的測量。 本標準測量氧含量的有效范圍從1×1016at?cm-3到硅中間隙氧的最大固溶度。