GB/T 1557-1989
硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法
The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
GBT1557-1989, GB1557-1989
- 標準號
- GB/T 1557-1989
- 別名
- GBT1557-1989, GB1557-1989
- 發布
- 1989年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 替代標準
- GB/T 1557-2006
- 當前最新
- GB/T 1557-2018
- 適用范圍
- 本標準規定了用紅外吸收測定硅晶體中間隙氧含量的方法。 本標準適用于室 溫電阻率大于0.1Ω·cm的硅晶體中氧含量的測量。測量范圍為：氧的濃度從3.5×1515at·cm-3至最大固溶度。
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