GB/T 29506-2013
300mm 硅單晶拋光片
300 mm polished monocrystalline silicon wafers
GBT29506-2013, GB29506-2013
- 標準號
- GB/T 29506-2013
- 別名
- GBT29506-2013, GB29506-2013
- 發布
- 2013年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 29506-2013
- 引用標準
- GB/T 11073 GB/T 13388 GB/T 14140 GB/T 14264 GB/T 1550 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 1557 GB/T 1558 GB/T 19921 GB/T 19922 GB/T 24578 GB/T 26067 GB/T 2828.1 GB/T 29504 GB/T 29507 GB/T 29508 GB/T 4058 GB/T 6616 GB/T 6624 SEMI MF 1390 YS/T 26 YS/T 679
- 適用范圍
- 本標準規定了直徑300 mm、p型、〈100〉晶向、電阻率0.5 Ω·cm~20 Ω·cm規格的硅單晶拋光片的術語和定義、技術要求、試驗方法、檢測規則以及標志、包裝、運輸、貯存等。本標準適用于直徑300 mm直拉單晶磨削片經雙面拋光制備的硅單晶拋光片,產品主要用于滿足集成電路IC用線寬90 nm技術需求的襯底片。