GB/T 14140-2009
硅片直徑測量方法
Test method for measuring diameter of semiconductor wafer
GBT14140-2009, GB14140-2009
- 標準號
- GB/T 14140-2009
- 別名
- GBT14140-2009, GB14140-2009
- 發布
- 2009年
- 總頁數
- 10頁
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 14140-2009
- 引用標準
- GB/T 12964-2003 GB/T 2828.1-2003 GB/T 6093-2001
- 被代替標準
- GB/T 14140.1-1993 GB/T 14140.2-1993
- 本體
- 千分尺 直徑 硅片
- 適用范圍
- 本標準規定了用光學投影儀測量硅片直徑的方法。 本標準適用于測量圓形硅片的直徑，可測最大直徑為 ∮300mm。不適用于測量硅片的不圓度。
| 術語 | 描述 |
|---|---|
| 直徑 diameter | 橫穿圓片表面，通過晶片中心點且不與參考面或圓周上其他基準區相交的直線長度。 |
GB/T 14140-2009 中提到的儀器設備
| 千分尺 測量范圍0 mm-300 mm, 分度值0.01 mm | 用于精確測量硅片直徑，確保測量精度達到0.01毫米 |
其他標準
專題
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