GB/T 29508-2013
300mm 硅單晶切割片和磨削片
300 mm monocrystalline silicon as cut slices and grinded slices
GBT29508-2013, GB29508-2013
- 標準號
- GB/T 29508-2013
- 別名
- GBT29508-2013, GB29508-2013
- 發布
- 2013年
- 總頁數
- 8頁
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 29508-2013
- 引用標準
- GB/T 11073 GB/T 13388 GB/T 14140 GB/T 14264 GB/T 1550 GB/T 1551 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 1557 GB/T 1558 GB/T 26067 GB/T 2828.1 GB/T 29504 GB/T 29507 GB/T 6616 GB/T 6624 SEMI MF 1390 YS/T 26
- 代替標準
- ABNT NBR 14519-2011
- 適用范圍
- 本標準規定了直徑300 mm、p型、<100>晶向、電阻率0.5Ω·cm~20Ω·cm的硅單晶切割片和磨削片(簡稱硅片)產品的術語和定義、技術要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸、貯存等。本標準適用于直徑300 mm直拉單晶經切割、磨削制備的圓形硅片,產品將進一步加工成拋光片,用于制作集成電路IC用線寬90 nm技術需求的襯底片。