GB/T 30656-2014
碳化硅單晶拋光片
Polished monocrystalline silicon carbide wafers
GBT30656-2014, GB30656-2014
2023-10
- 標準號
- GB/T 30656-2014
- 別名
- GBT30656-2014, GB30656-2014
- 發布
- 2014年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 替代標準
- GB/T 30656-2023
- 當前最新
- GB/T 30656-2023
- 引用標準
- DIN 50448 GB/T 13387 GB/T 13388 GB/T 14140 GB/T 14264 GB/T 1555 GB/T 29505 GB/T 29507 GB/T 31351 GB/T 6616 GB/T 6619 GB/T 6620 GB/T 6624
- 適用范圍
- 本標準規定了4H及6H碳化硅單晶拋光片的要求、檢驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸、儲存、質量證明書及訂貨單(或合同)內容。本標準適用于4H及6H碳化硅單晶研磨片經單面或雙面拋光后制備的碳化硅單晶拋光片。產品主要用于制作半導體照明及電力電子器件的外延襯底。
GB/T 30656-2014相似標準
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