GB/T 41765-2022
碳化硅單晶位錯密度的測試方法
Test method for dislocation density of monocrystalline silicon carbide
GBT41765-2022, GB41765-2022
- 標準號
- GB/T 41765-2022
- 別名
- GBT41765-2022, GB41765-2022
- 發布
- 2022年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 41765-2022
- 引用標準
- GB/T 14264 GB/T 30656
- 適用范圍
- 本文件規定了碳化硅單晶位錯密度的測試方法。 本文件適用于晶面偏離{0001}面、偏向<1120>方向0 °~8 °的碳化硅單晶位錯密度的測試。
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