GB/T 14144-2009
硅晶體中間隙氧含量徑向變化測量方法
Testing method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon
GBT14144-2009, GB14144-2009
- 標準號
- GB/T 14144-2009
- 別名
- GBT14144-2009, GB14144-2009
- 發布
- 2009年
- 采用標準
- SEMI MF 1188-1105 MOD
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 14144-2009
- 引用標準
- GB/T 14264-2009 GB/T 1557-2006
- 被代替標準
- GB/T 14144-1993
- 適用范圍
- 本標準采用紅外光譜法測定硅晶體中間隙氧含量徑向的變化。本標準需要用到無氧參比樣品和一套經過認證的用于校準設備的標準樣品。
本標準適用于室溫電阻率大于0.1Ω?cm的n型硅單晶和室溫電阻率大于0.5Ω?cm的p型硅單晶中間隙氧含量的測量。
本標準測量氧含量的有效范圍從1×10
at?cm 至硅晶體中間隙氧的最大固溶度。
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