GB/T 26069-2010
硅退火片規范
Specification for silicon annealed wafers
GBT26069-2010, GB26069-2010
2022-10
- 標準號
- GB/T 26069-2010
- 別名
- GBT26069-2010, GB26069-2010
- 發布
- 2011年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 替代標準
- GB/T 26069-2022
- 當前最新
- GB/T 26069-2022
- 引用標準
- GB/T 11073 GB/T 13387 GB/T 13388 GB/T 14140 GB/T 14144 GB/T 14264 GB/T 1550 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 1557 GB/T 19921 GB/T 24578 GB/T 2828.1 GB/T 4058 GB/T 6616 GB/T 6618 GB/T 6620 GB/T 6621 GB/T 6624 YS/T 26
- 適用范圍
- 硅退火片規范GB/T26069—2010 本標準規定了半導體器件和集成電路制造用硅退火拋光片的耍求、試驗方法、檢驗規則等”本標準適用于線寬180nm、130nm和90nm工藝退火硅片”