YS/T 985-2014
硅拋光回收片

Polished reclaimed silicon wafers

YST985-2014, YS985-2014

非常抱歉，我們暫時無法提供預覽，您可以試試： 免費下載 YS/T 985-2014 前三頁，或者稍后再訪問。

您也可以嘗試購買此標準，
點擊右側 “立即購買” 按鈕開始采購（由第三方提供）。

標準號

YS/T 985-2014

別名

YST985-2014, YS985-2014

發布

2014年

發布單位

行業標準-有色金屬

當前最新

YS/T 985-2014

 

 

引用標準

GB GB/T 11073 GB/T 12962 GB/T 12964 GB/T 13387 GB/T 13388 GB/T 14140 GB/T 14144 GB/T 14264 GB/T 14844 GB/T 1550 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 1557 GB/T 1558 GB/T 19921 GB/T 19922 GB/T 2828.1 GB/T 4058 GB/T 6616 GB/T 6618 GB/T 6619 GB/T 6620 GB/T 6621 GB/T 6624

適用范圍

本標準規定了硅拋光回收片的要求、檢驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸、貯存、質量證明書和訂貨單(或合同)內容。本標準適用于用戶提供的或來源于第三方的硅回收片(主要包括100 mm、125 mm、150 mm和200 mm單面或雙面拋光硅片、未拋光硅片或外延硅片)經單面拋光制備的硅拋光片。產品主要用于機械、爐處理、顆粒和光刻中的監控片。另外,使用方需注意硅回收片的熱歷史、體沾污和表面沉積物情況。

YS/T 985-2014相似標準

YS/T 985-2014 中可能用到的儀器設備