GB/T 1557-1989
硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法

The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption

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標準號

GB/T 1557-1989

發布日期

1989年03月31日

實施日期

1990年02月01日

廢止日期

無

中國標準分類號

H21

國際標準分類號

77.040.30

發布單位

CN-GB

代替標準

GB/T 1557-2006

適用范圍

本標準規定了用紅外吸收測定硅晶體中間隙氧含量的方法。 本標準適用于室 溫電阻率大于0.1Ω·cm的硅晶體中氧含量的測量。測量范圍為：氧的濃度從3.5×15¹⁵at·cm^-3至最大固溶度。

GB/T 1557-1989系列標準

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