GB/T 26065-2010
硅單晶拋光試驗片規范
Specification for polished test silicon wafers
GBT26065-2010, GB26065-2010
- 標準號
- GB/T 26065-2010
- 別名
- GBT26065-2010, GB26065-2010
- 發布
- 2011年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 26065-2010
- 引用標準
- ASTM F1526 GB/T 11073 GB/T 12964 GB/T 13387 GB/T 13388 GB/T 14140 GB/T 14264 GB/T 1550 GB/T 1554 GB/T 1555 GB/T 1557 GB/T 2828.1 GB/T 4058 GB/T 6616 GB/T 6618 GB/T 6619 GB/T 6620 GB/T 6621 GB/T 6624 SEMI 24 YS/T 26
- 適用范圍
- 1.本標準規定了半導體器件制備中用作檢驗和工藝控制的硅單晶試驗片的技術要求。 2.本標準涵蓋尺寸規格、結晶取向及表面缺陷等特性要求。本標準涉及了50.8mm～300mm所有標準直徑的硅拋光試驗片技術要求。 3.對于更高要求的硅單晶拋光片規格，如：顆粒測試硅片、光刻分辨率試驗用硅片以及金屬離子監控片等，參見SEMI24《硅單晶優質拋光片規范》。