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  • GB/T 1557-1989
    硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法

    The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption

    GBT1557-1989, GB1557-1989

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    標準號
    GB/T 1557-1989
    別名
    GBT1557-1989
    GB1557-1989
    發布
    1989年
    發布單位
    國家質檢總局
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    GB/T 1557-2006
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    本標準規定了用紅外吸收測定硅晶體中間隙氧含量的方法。 本標準適用于室 溫電阻率大于0.1Ω·cm的硅晶體中氧含量的測量。測量范圍為:氧的濃度從3.5×1515at·cm-3至最大固溶度。

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