GB/T 14143-1993
300-900μm硅片間隙氧含量紅外吸收測量方法
Infrared Absorption Measurement Method of Oxygen Content in the Gap of 300-900μm Silicon Wafer
GBT14143-1993, GB14143-1993
2006-11
- 標準號
- GB/T 14143-1993
- 別名
- GBT14143-1993, GB14143-1993
- 發布
- 1993年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 替代標準
- GB/T 1557-2006
- 當前最新
- GB/T 1557-2018
- 適用范圍
- 本標準規定了用紅外吸收法測定厚度為300～900μm的硅片間隙氧含量的方法。 本標準適用于室溫電阻率大于0.1Ω·cm的硅片間隙氧含量的測量。測量范圍為3×1016atcm-3至間隙氧在硅中的最大固溶度。
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