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  • GB/T 14143-1993
    300-900μm硅片間隙氧含量紅外吸收測量方法

    Infrared Absorption Measurement Method of Oxygen Content in the Gap of 300-900μm Silicon Wafer

    GBT14143-1993, GB14143-1993

    2006-11

    標準號
    GB/T 14143-1993
    別名
    GBT14143-1993, GB14143-1993
    發布
    1993年
    發布單位
    國家質檢總局
    替代標準
    GB/T 1557-2006
    當前最新
    GB/T 1557-2018
     
     
    適用范圍
    本標準規定了用紅外吸收法測定厚度為300~900μm的硅片間隙氧含量的方法。 本標準適用于室溫電阻率大于0.1Ω·cm的硅片間隙氧含量的測量。測量范圍為3×1016atcm-3至間隙氧在硅中的最大固溶度。

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