要了解微流控技術,首先要知道MEMS技術。MEMS,Mirco-Electro-Mechanical System,微機電系統,也叫微電子機械系統、微系統、微機械等,理念源自于將現實生活在廣泛運用的大型設備,通過各種微型技術(半導體技術為主)進行微縮化,但功能不變甚至更加優良。主要由傳感器、動作控制器(執行器)和微能源三大部分組成。...
MEMS技術全稱Micro Electromechanical System,MEMS設想是由諾貝爾物理學獎獲得者Richard Feynman教授于1959年提出,其基本概念是用半導體技術,將現實生活中的機械系統微型化,形成微型電子機械系統,簡稱微機電系統。 1962年全球第一款微型壓力傳感器面世,這一創新產品后來被應用于汽車安全(輪胎壓力檢測)和醫療(有創血壓計),開啟了MEMS時代。...
在科技部和中國科學院的大力支持下,半導體研究所集成技術工程研究中心相關課題組多年來致力于射頻諧振器件以及相關的測試表征系統的研制工作,在諧振器構型、微納加工工藝、器件測試方法研究和測試系統組建等方面取得了系列科研進展。 微機電系統(MEMS)是指利用微納加工技術制作的、同時具有機械組元和電子組元的小型化器件或系統。...
三維微機電系統(MEMS)具有體積小、重量輕、能耗低、靈敏度高等特點,在精密機械、生物醫療、國防、航空航天、核工業等領域有廣泛的應用。MEMS系統的結構主要包括微型傳感器、微型執行器和處理電路三部分,其中關鍵部件微執行器主要采用物理或化學氣相沉積、光刻等技術制作成二維懸臂結構,三維微納驅動單元需要進一步通過機械提拉作用才能形成準三維結構。...
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