GB/T 26112-2010
微機電系統（MEMS）技術 微機械量評定總則
Micro-electromechanical system techology.General rules for the assessment of micro-mechanical parameters
GBT26112-2010, GB26112-2010
GB/T 26112-2010 發布歷史
GB/T 26112-2010由國家質檢總局 CN-GB 發布于 2011-01-10，并于 2011-10-01 實施。
GB/T 26112-2010 在中國標準分類中歸屬于: L55 微電路綜合，在國際標準分類中歸屬于: 31.200 集成電路、微電子學。
GB/T 26112-2010 微機電系統（MEMS）技術 微機械量評定總則的最新版本是哪一版？
最新版本是 GB/T 26112-2010 。
GB/T 26112-2010 發布之時，引用了標準
- GB/T 26111 微機電系統（MEMS）技術 術語*， 2023-05-23 更新
* 在 GB/T 26112-2010 發布之后有更新，請注意新發布標準的變化。
GB/T 26112-2010的歷代版本如下：
- 2011年 GB/T 26112-2010 微機電系統（MEMS）技術 微機械量評定總則
本標準規定了微機械量的評定基本原則、評定要素、評定程序、評定方法以及評定規則。 本標準適用于企業、研究機構、檢測機構從事微機電技術及產品的研究、設計、生產、檢測及使用。
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- 標準號
- GB/T 26112-2010
- 別名
- GBT26112-2010
GB26112-2010 - 發布
- 2011年
- 總頁數
- 13頁
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 26112-2010
- 引用標準
- GB/T 26111
GB/T 26112-2010 中提到的儀器設備
| 顯微干涉儀 高精度顯微干涉儀，適用于 MEMS 結構表面形貌測量 | 用于測量微小位移和表面形變的高精度儀器，常配合顯微鏡使用。 |
| X射線衍射儀 用于殘余應力分析的標準設備 | 通過 X 射線衍射現象分析材料內部結構及應力分布的儀器。 |