GB/T 26111-2010
微機電系統（MEMS）技術 術語
Micro-electromechanical system techology.Terms
GBT26111-2010, GB26111-2010
2023-09
- 標準號
- GB/T 26111-2010
- 別名
- GBT26111-2010, GB26111-2010
- 發布
- 2011年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 替代標準
- GB/T 26111-2023
- 當前最新
- GB/T 26111-2023
- 引用標準
- GB/T 2900.66-2004
- 適用范圍
- 本標準規定了微機電系統領域所涉及的材料、設計、加工、封裝、測量以及器件等方面的通用術語和定義。 本標準適用于微機電系統領域的研究、開發、評測和應用。
GB/T 26111-2010相似標準
推薦
鄒旭東：于微細處見神奇 MEMS技術引領新變革
微機電系統（MEMS）是融合了微電子、機械、材料領域技術發展的產物，它使用與集成電路加工技術相類似的制造工藝，制備出各種性能各異、價格低廉、微型化的傳感器、執行器和微系統。MEMS技術的發展開辟了一個全新的技術領域和產業，它們具有很多傳統器件無法比擬的優點，在國防安全、航空航天、信息工程、醫療衛生和生物工程等領域有著廣闊的應用潛力。 ...
微流控的技術背景
要了解微流控技術，首先要知道MEMS技術。MEMS，Mirco-Electro-Mechanical System，微機電系統，也叫微電子機械系統、微系統、微機械等，理念源自于將現實生活在廣泛運用的大型設備，通過各種微型技術（半導體技術為主）進行微縮化，但功能不變甚至更加優良。主要由傳感器、動作控制器（執行器）和微能源三大部分組成。...
一文看懂微流控芯片的工作原理
伴隨著微機電加工系統（MEMS ）技術的發展，電子計算機已由當年的“龐然大物“ 演變成由一個個微小的電路集成芯片組成的便攜系統，甚至是一部微型的智能手機。 ...
半導體所在微機電射頻諧振器件研究方面取得系列進展
在科技部和中國科學院的大力支持下，半導體研究所集成技術工程研究中心相關課題組多年來致力于射頻諧振器件以及相關的測試表征系統的研制工作，在諧振器構型、微納加工工藝、器件測試方法研究和測試系統組建等方面取得了系列科研進展。 微機電系統(MEMS)是指利用微納加工技術制作的、同時具有機械組元和電子組元的小型化器件或系統。...
GB/T 26111-2010 中可能用到的儀器設備
掃描電鏡SEM
光學位移臺
超分辨率顯微鏡
光學成像-CCD相機
分子熒光光譜/熒光分光光度計
掃描探針/原子力顯微鏡SPM/AFM
體視顯微鏡/立體顯微鏡
其它光學測量儀
電鏡制樣設備
光譜部件及外設
電鏡附件及外設
激光器
電化學工作站
透射電鏡TEM
工業顯微鏡/工具顯微鏡
生物顯微鏡
視頻顯微鏡
顯微操作
光學平臺
光學儀器組件
熒光顯微鏡
顯微鏡附件
電化學部件
光源/氙燈光源/汞燈光源
材料/金相顯微鏡
納米壓痕儀、劃痕儀
熔點儀
表面張力儀（界面張力儀）
磁學測量系統
動態熱機械分析儀（DMA/TMA/DMTA）
其他試驗機
熱膨脹儀
電磁/電渦流測厚儀
電子束刻蝕
離子濺射儀
等離子體表面處理儀
鍍膜機
勻膠機
移液工作站/智能化樣品處理平臺/全自動稀釋配標儀
移液器Liquid Handling
化學合成儀
細胞成像/活細胞成像
生物3D打印機
微流控芯片
分子互作分析儀
生物芯片
細胞破碎儀
生化免疫一體化系統
電生理設備
配液/儲液/分裝系統
手術顯微鏡
凝膠/WB/CL成像系統
基因導入儀/電穿孔儀
氧/CO2分析儀
VOC檢測儀/TVOC監測儀
多參數水質分析儀
電子束刻蝕
分子束外延(MBE)
薄膜應力測試儀
教學儀器
能源/交通/運輸
其他包裝業專用
化學/化工
接觸式測量傳感器
力學量測量儀表(位移、力等)
輪廓儀/粗糙度儀
臺階儀
傳感器/敏感元件
在機測量
脈沖電子沉積(PED)
原子層沉積(ALD)
化學氣相沉積（CVD）
半導體專用檢測儀器設備