我國在MEMS的設計和制造領域也取得了長足的發展。北京大學、清華大學、上海微系統所、中電13所、中電49所、中電55所、東南大學和上海交通大學等單位的研究在國內乃至國際均處于領先水平。本文所介紹的《硅基MEMS制造技術微鍵合區剪切和拉壓強度檢測方法》正是基于北京大學的科研成果而提出的一項國際標準提案。2....
此時,拉曼峰值頻率的移動量與薄膜內部殘余應力的大小具有線性關系,即Δδ=ασ或者σ=kΔδ,Δδ是薄膜拉曼峰值的頻移量,σ是薄膜的殘余應力,k和α稱為應力因子。圖 3?拉曼測量系統示意圖圖 4?拉曼光譜測試晶圓的示意圖2.?多晶硅薄膜殘余應力計算對于單晶硅,激光光子與其作用時存在3種光學振動模式,兩種平面內的一種豎直方向上的,這與其晶體結構密切相關。...
? ? ? 2013年5月17日,由中國化學會主辦、廈門大學承辦、復旦大學、浙江大學協辦的第八屆全國微全分析系統學術會議、第三屆全國微納尺度生物分離分析學術會議暨第五屆國際微化學與微系統學術會議在美麗的海濱城市廈門隆重召開,400余名國內外學者參加了這一盛會。...
MEMS傳感器系統主要是由一個采用表面微加工工藝制造的硅微結構構成,通常是將兩個或多個晶圓片(裸片)堆疊放置,用玻璃材料化合物焊料將其焊接在硅基封裝內。在傳感器上存在厚度約為150um的硅保護帽,其本身對入射傳感器表面的輻射有自然的紅外波長過濾功能。當然,硅保護帽的紅外透射光譜使傳感器光學性能在1-13um波長紅外區域變差12,具體程度取決于硅特性。...
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