GB/T 34899-2017
微機電系統（MEMS）技術 基于拉曼光譜法的微結構表面應力測試方法
Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy
GBT34899-2017, GB34899-2017
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- 標準號
- GB/T 34899-2017
- 別名
- GBT34899-2017
GB34899-2017 - 發布
- 2017年
- 總頁數
- 15頁
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 34899-2017
- 引用標準
- GB/T 2421.1 GB/T 25915.1 GB/T 26111
本標準規定了使用拉曼光譜法測定微機電系統（MEMS）結構表面殘余應力、相對靜態應力和相對動態應力的方法。本標準適用于微機電系統（MEMS）結構表面殘余應力、相對靜態應力和相對動態應力的拉曼光譜法測試。
專題
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