GB/T 26111-2010
微機電系統（MEMS）技術 術語
Micro-electromechanical system techology.Terms
GBT26111-2010, GB26111-2010
2023-09
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- 標準號
- GB/T 26111-2010
- 別名
- GBT26111-2010
GB26111-2010 - 發布
- 2011年
- 總頁數
- 37頁
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 替代標準
- GB/T 26111-2023
- 當前最新
- GB/T 26111-2023
- 引用標準
- GB/T 2900.66-2004
本標準規定了微機電系統領域所涉及的材料、設計、加工、封裝、測量以及器件等方面的通用術語和定義。 本標準適用于微機電系統領域的研究、開發、評測和應用。
GB/T 26111-2010 中可能用到的儀器設備
FIB-SEM雙束聚焦掃描電鏡
掃描電鏡SEM
光學位移臺
光學成像-CCD相機
超分辨率顯微鏡
體視顯微鏡/立體顯微鏡
分子熒光光譜/熒光分光光度計
掃描探針/原子力顯微鏡SPM/AFM
光譜部件及外設
電鏡制樣設備
其它光學測量儀
電鏡附件及外設
激光器
電化學工作站
透射電鏡TEM
工業顯微鏡/工具顯微鏡
視頻顯微鏡
生物顯微鏡
顯微操作
磁力/磁場成像顯微鏡
制備液相/層析純化
光學平臺
光學儀器組件
熒光顯微鏡
顯微鏡附件
電化學部件
激光共聚焦顯微鏡
材料/金相顯微鏡
光源/氙燈光源/汞燈光源
納米壓痕儀、劃痕儀
熔點儀
表面張力儀（界面張力儀）
磁學測量系統
動態熱機械分析儀（DMA/TMA/DMTA）
其他試驗機
熱膨脹儀
電磁/電渦流測厚儀
還原聚合3D打印機
生物材料3D打印機
離子濺射儀
等離子體表面處理儀
鍍膜機
勻膠機
移液工作站/智能化樣品處理平臺/全自動稀釋配標儀
移液器Liquid Handling
化學合成儀
細胞成像/活細胞成像
分子互作分析儀
微流控芯片
生物芯片
凝膠/WB/CL成像系統
細胞破碎儀
生化免疫一體化系統
電生理設備
配液/儲液/分裝系統
手術顯微鏡
基因導入儀/電穿孔儀
氧/CO2分析儀
VOC檢測儀/TVOC監測儀
多參數水質分析儀
危險氣體檢測
教學儀器
能源/交通/運輸
其他包裝業專用
化學/化工
接觸式測量傳感器
力學量測量儀表(位移、力等)
輪廓儀/粗糙度儀
臺階儀
傳感器/敏感元件
在機測量
晶圓檢測設備
激光脈沖沉積（PLD）
無掩模光刻機/直寫光刻機
化學氣相沉積（CVD）
等離子體刻蝕設備
脈沖電子沉積(PED)
分子束外延(MBE)
原子層沉積(ALD)
電子束刻蝕
薄膜應力測試儀
半導體專用檢測儀器設備