GB/T 26113-2010
微機電系統（MEMS）技術 微幾何量評定總則
Micro-electromechanical system techology.General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
GBT26113-2010, GB26113-2010
- 標準號
- GB/T 26113-2010
- 別名
- GBT26113-2010, GB26113-2010
- 發布
- 2011年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 26113-2010
- 引用標準
- GB/T 18779.2 GB/T 26111 GB/T 3505
- 適用范圍
- 本標準規定了微幾何量的評定基本原則、評定要素、評定程序、評定方法以及評定規則。 本標準適用于企業、研究機構、檢測機構從事微機電技術及產品的研究、設計、生產、檢測。
GB/T 26113-2010相似標準
推薦
奧氏粘度計使用完后，為什么左右粗細管液面不相平
m-VROC微流體流變儀微觀尺度上利用經典的狹縫口模測量原理，結合專利的MEMS（微機電系統）傳感器技術，開拓了在剪切速率范圍測量低粘度樣品獨特功能。m-VROC微流體流變儀使用注射器裝載樣品，并將其和微流體流動池連接。通過高精度傳動系統準確控制樣品體積流量，使用嵌入式MEMS壓力傳感器測量樣品通過微流體流動池時的壓力變化來確定粘度，靈敏度高。...
微量粘度計怎么樣呢？
m-VROC微流體流變儀微觀尺度上利用經典的狹縫口模測量原理，結合ZL的MEMS（微機電系統）傳感器技術，開拓了在剪切速率范圍測量低粘度樣品獨特功能。 m-VROC微流體流變儀使用注射器裝載樣品，并將其和微流體流動池連接。通過高精度傳動系統準確控制樣品體積流量，使用嵌入式MEMS壓力傳感器測量樣品通過微流體流動池時的壓力變化來確定粘度，靈敏度高。...
精準醫療的微流控技術（一）
微流控技術是MEMS技術在流體處理方面的一個重要分支，由于這一技術是生物芯片的基石，2003年被福布斯（Forbes）雜志評為影響人類未來15件最重要的發明之一。?微流控技術的起源微型化、集成化和智能化，是現代科技發展的一個重要趨勢。伴隨著微機電加工系統（MEMS）技術的發展，電子計算機已由當年的“龐然大物”演變成由一個個微小的電路集成芯片組成的便攜系統，甚至是一部微型的智能手機。...
汽車傳感器的發展趨勢
20世紀末期，設計技術、材料技術，特別是Mems （微電子機械系統）技術的發展使微型傳感器提高到了一個新的水平，利用微電子機械加工技術將微米級的敏感元件、信號處理器、數據處理裝置封裝在同一芯片上，它具有體積小、價格便宜、可靠性高等特點，并且可以明顯提高系統測試精度。采用Mems技術可以制作檢測力學量、磁學量、熱學量、化學量和生物量的微型傳感器。...
GB/T 26113-2010 中可能用到的儀器設備
激光共聚焦顯微鏡
掃描探針/原子力顯微鏡SPM/AFM
光學成像-CCD相機
超分辨率顯微鏡
偏振儀
體視顯微鏡/立體顯微鏡
生物顯微鏡
偏光顯微鏡
掃描電鏡SEM
工業顯微鏡/工具顯微鏡
光學位移臺
其它光學測量儀
顯微圖像分析系統
數碼顯微鏡
透射電鏡TEM
材料/金相顯微鏡
電鏡附件及外設
顯微操作
光學平臺
橢偏儀
白光干涉測厚儀
磁學測量系統
比表面積儀/動態法
其他試驗機
高內涵篩選/成像
細胞破碎儀
分子互作分析儀
細胞成像/活細胞成像
薄膜應力測試儀
量熱儀、熱量計
其他包裝業專用
接觸式測量傳感器
臺階儀
輪廓儀/粗糙度儀
力學量測量儀表(位移、力等)
傳感器/敏感元件
信號采集處理
半導體專用檢測儀器設備