GB/T 26113-2010
微機電系統（MEMS）技術 微幾何量評定總則
Micro-electromechanical system techology.General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
GBT26113-2010, GB26113-2010
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- 標準號
- GB/T 26113-2010
- 別名
- GBT26113-2010
GB26113-2010 - 發布
- 2011年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 26113-2010
- 引用標準
- GB/T 18779.2 GB/T 26111 GB/T 3505
本標準規定了微幾何量的評定基本原則、評定要素、評定程序、評定方法以及評定規則。 本標準適用于企業、研究機構、檢測機構從事微機電技術及產品的研究、設計、生產、檢測。
專題
GB/T 26113-2010相似標準
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