<td id="ccaac"></td>

<table id="ccaac"><rt id="ccaac"></rt></table>

GB/T 26113-2010
微機電系統（MEMS）技術微幾何量評定總則

Micro-electromechanical system techology.General rules for the assessment of micro-geometrical parameters

GBT26113-2010, GB26113-2010

GB/T 26113-2010 中，可能用到以下儀器設備

實驗室顯微鏡--INDUSTRY系列

賽默飛色譜與質譜

尼康ECLIPSE MA100倒置金相顯微鏡

德國賽多利斯集團

德國徠卡立體光學顯微鏡 Leica S8 APO

徠卡顯微系統(上海)貿易有限公司

Leica DM4000M半自動金相顯微鏡

徠卡顯微系統(上海)貿易有限公司

徠卡Leica DCM 3D白光共焦干涉顯微鏡

徠卡顯微系統(上海)貿易有限公司

Leica DVM5000 HD顯微鏡

徠卡顯微系統(上海)貿易有限公司

徠卡EZ系列立體顯微鏡

徠卡顯微系統(上海)貿易有限公司

德國徠卡手動倒置金相顯微鏡 DM ILM

徠卡顯微系統(上海)貿易有限公司

徠卡金相顯微鏡

徠卡顯微系統(上海)貿易有限公司

徠卡金相顯微鏡

徠卡顯微系統(上海)貿易有限公司

徠卡金相顯微鏡

徠卡顯微系統(上海)貿易有限公司

大面積電制冷能譜儀

牛津儀器（上海）有限公司

智能研究及偏光顯微鏡

徠卡顯微系統(上海)貿易有限公司

徠卡室溫超薄切片機 Leica EM UC7

徠卡顯微系統(上海)貿易有限公司

Rheolaser Coating 動態干燥度分析儀

大昌華嘉科學儀器

日本電子JSM-6510系列掃描電子顯微鏡

日本電子株式會社(JEOL)

FEI Quanta x50 FEG場發射環境掃描電鏡

賽默飛電子顯微鏡（原FEI）

蔡司ULTRA 55掃描電子顯微鏡

北京歐波同光學儀器有限公司/歐波同/OPTON

日本電子6700F高分辨掃描電子顯微鏡

日本電子株式會社(JEOL)

JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射電子顯微鏡

日本電子株式會社(JEOL)

JEM-2100F 場發射透射電子顯微鏡

日本電子株式會社(JEOL)

FemtoJet?顯微注射儀

艾本德中國有限公司(Eppendorf)

蔡司Axiovert A1倒置生物顯微鏡

北京歐波同光學儀器有限公司/歐波同/OPTON

XSG系列生物顯微鏡

上海舜宇恒平科學儀器有限公司

BH200系列生物顯微鏡

上海舜宇恒平科學儀器有限公司

EX20系列生物顯微鏡

上海舜宇恒平科學儀器有限公司

XY系列生物顯微鏡

上海舜宇恒平科學儀器有限公司

蔡司頂級倒置熒光顯微鏡Axio Observer A1/D1/Z1

北京歐波同光學儀器有限公司/歐波同/OPTON

蔡司Axio Imager 2生物顯微鏡

北京歐波同光學儀器有限公司/歐波同/OPTON

蔡司Axio Imager A2/D2/M2研究級生物顯微鏡

北京歐波同光學儀器有限公司/歐波同/OPTON

XSG雙目/三目生物顯微鏡

上海舜宇恒平科學儀器有限公司

HF-3300場發射透射電子顯微鏡

天美儀拓實驗室設備（上海）有限公司

蔡司Gemini Sigma 300/VP SEM超高分辨率場發射掃描電鏡

北京歐波同光學儀器有限公司/歐波同/OPTON

蔡司SIGMA 500/VP高分辨率場發射掃描電鏡

北京歐波同光學儀器有限公司/歐波同/OPTON

蔡司MultiSEM 505/MultiSEM 506掃描電子顯微鏡

北京歐波同光學儀器有限公司/歐波同/OPTON

JEM-3200FS 場發射透射電子顯微鏡

日本電子株式會社(JEOL)

日本電子JASM-6200 ClairScope 大氣壓掃描電子顯微鏡

日本電子株式會社(JEOL)

日本電子JCM-6000plus NeoScope 臺式掃描電子顯微鏡

日本電子株式會社(JEOL)

日本電子JSM-7200F掃描電子顯微鏡

日本電子株式會社(JEOL)

德國工業CT掃描儀，X射線斷層

北京歐波同光學儀器有限公司/歐波同/OPTON

大氣壓掃描電鏡

日本電子株式會社(JEOL)

聚焦離子束系統

北京歐波同光學儀器有限公司/歐波同/OPTON

ULTRA 結構分析用場發射掃描電子顯微鏡

北京歐波同光學儀器有限公司/歐波同/OPTON

過程控制用微粒分析工具/掃描電鏡SEM

北京歐波同光學儀器有限公司/歐波同/OPTON

Quanta SEM

賽默飛電子顯微鏡（原FEI）

冷場發射球差校正透射電鏡

日本電子株式會社(JEOL)

軟X射線分光譜儀

日本電子株式會社(JEOL)

用于機器視覺的相機鏡頭

海洋光學亞洲公司

光束位置感應熱電堆功率傳感器

海洋光學亞洲公司

Chroma光學產品

海洋光學亞洲公司

點擊查看大圖

標準號: GB/T 26113-2010
別名: GBT26113-2010
GB26113-2010
發布: 2011年
發布單位: 國家質檢總局
當前最新: GB/T 26113-2010

引用標準: GB/T 18779.2 GB/T 26111 GB/T 3505

本標準規定了微幾何量的評定基本原則、評定要素、評定程序、評定方法以及評定規則。本標準適用于企業、研究機構、檢測機構從事微機電技術及產品的研究、設計、生產、檢測。

專題

探針輪廓儀探針輪廓儀顯微測量法 mems 技術 mems技術微機電系統微系統技術輕敲模式輕敲模式原子力顯微鏡afm 原子力顯微鏡 afm 、原子力顯微鏡afm

GB/T 26113-2010相似標準

GB/T 34894-2017 微機電系統（MEMS）技術基于光學干涉的MEMS微結構應變梯度測量方法 GB/T 34900-2017 微機電系統（MEMS）技術基于光學干涉的MEMS微結構殘余應變測量方法 GB/T 26112-2010 微機電系統（MEMS）技術微機械量評定總則 GB/T 32817-2016 半導體器件微機電器件 MEMS總規范 GB/T 38446-2020 微機電系統（MEMS）技術帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法

GB/T 26113-2010 中可能用到的儀器設備

激光共聚焦顯微鏡掃描探針/原子力顯微鏡SPM/AFM 光學成像-CCD相機超分辨率顯微鏡偏振儀體視顯微鏡/立體顯微鏡生物顯微鏡偏光顯微鏡掃描電鏡SEM 顯微圖像分析系統工業顯微鏡/工具顯微鏡光學位移臺其它光學測量儀數碼顯微鏡透射電鏡TEM 材料/金相顯微鏡電鏡附件及外設顯微操作光學平臺橢偏儀白光干涉測厚儀磁學測量系統比表面積儀/動態法其他試驗機高內涵篩選/成像細胞破碎儀分子互作分析儀細胞成像/活細胞成像薄膜應力測試儀量熱儀、熱量計其他包裝業專用臺階儀接觸式測量傳感器輪廓儀/粗糙度儀力學量測量儀表(位移、力等) 傳感器/敏感元件信號采集處理半導體專用檢測儀器設備

Copyright ?2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP備07018254號京公網安備1101085018 電信與信息服務業務經營許可證：京ICP證110310號

<td id="ccaac"></td>

<table id="ccaac"><rt id="ccaac"></rt></table>