GB/T 26112-2010
微機電系統（MEMS）技術 微機械量評定總則
Micro-electromechanical system techology.General rules for the assessment of micro-mechanical parameters
GB/T 26112-2010 中，可能用到以下儀器
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- 標準號
- GB/T 26112-2010
- 發布日期
- 2011年01月10日
- 實施日期
- 2011年10月01日
- 廢止日期
- 無
- 中國標準分類號
- L55
- 國際標準分類號
- 31.200
- 發布單位
- CN-GB
- 引用標準
- GB/T 26111
- 適用范圍
- 本標準規定了微機械量的評定基本原則、評定要素、評定程序、評定方法以及評定規則。 本標準適用于企業、研究機構、檢測機構從事微機電技術及產品的研究、設計、生產、檢測及使用。
GB/T 26112-2010系列標準
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GB/T 26113-2010(英文版)
GB/T 26112-2010 中可能用到的儀器設備
核磁共振波譜儀
拉曼光譜儀
其它光學測量儀
激光誘導擊穿光譜LIBS
激光共聚焦顯微鏡
分子熒光光譜/熒光分光光度計
ICP-MS
光纖光譜儀
紅外光譜儀
太赫茲光譜儀
X射線應力分析儀
光柵光譜儀(單色儀)
近紅外光譜儀
掃描探針/原子力顯微鏡SPM/AFM
透射電鏡TEM
生物顯微鏡
光學儀器組件
掃描電鏡SEM
材料/金相顯微鏡
X射線顯微鏡
電化學工作站
X熒光光譜/XRF（波長色散型）
磁學測量系統
摩擦磨損試驗機
納米壓痕儀、劃痕儀
流變儀
硬度計
粘度計
試驗機、拉力機、萬能試驗機
導熱儀、熱導儀
工業CT
濃縮儀
離心機
生物3D打印機
凝膠/WB/CL成像系統
細胞成像/高內涵成像
流量計/流速儀/測漏儀
條碼掃描儀
激光雷達
其他物性分析儀/測定儀
干涉儀
粒子圖像測速儀(PIV)