砷化鎵生產方式和傳統的硅晶圓生產方式大不相同,砷化鎵需要采用磊晶技術制造,這種磊晶圓的直徑通常為 4-6 英寸,比硅晶圓的 12 英寸要小得多。磊晶圓需要特殊的機臺,同時砷化鎵原材料成本高出硅很多,最終導致砷化鎵成品 IC 成本比較高。磊晶目前有兩種,一種是化學的 MOCVD,一種是物理的 MBE。? ?...
以硅片作襯底, MOCVD技術異質外延方法制造GaAs電池是降用低成本很有希望的方法。已研究的砷化鎵系列太陽電池有單晶砷化鎵,多晶砷化鎵,鎵鋁砷--砷化鎵異質結,金屬-半導體砷化鎵,金屬--絕緣體--半導體砷化鎵太陽電池等。...
用GaAs作襯底的光電池效率高達29.5%(一般在19.5%左右) ,產品耐高溫和輻射,但生產成本高,產量受限,目前主要作空間電源用。以硅片作襯底, MOCVD技術異質外延方法制造GaAs電池是降用低成本很有希望的方法。已研究的砷化鎵系列太陽電池有單晶砷化鎵,多晶砷化鎵,鎵鋁砷--砷化鎵異質結,金屬-半導體砷化鎵,金屬--絕緣體--半導體砷化鎵太陽電池等。...
作為國內氮化鋁鎵基深紫外LED的重要研發機構,中國科學院半導體研究所半導體照明研發中心在國家863計劃的支持下,在氮化鋁鎵材料的外延生長和摻雜以及深紫外LED芯片的制備工藝等方面積累了多年研發經驗,目前已成功實現發光波長從260納米到300納米的深紫外LED芯片系列,并已具備產業化批量生產能力。 ...
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