GB/T 40577-2021
集成電路制造設備術語

SJ/Z 2927-1988 集成電路制版設備名詞術語 SJ/T 10152-1991 集成電路主要工藝設備術語 BS IEC 63011-1:2018 集成電路 三維集成電路 術語 CNS 10619-1983 集成電路制造技術名詞 KS C 6063-1978(2001) 術語集成電路

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