GB/T 40577-2021
集成電路制造設備術語
Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment
GBT40577-2021, GB40577-2021
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- 標準號
- GB/T 40577-2021
- 別名
- GBT40577-2021
GB40577-2021 - 發布
- 2021年
- 總頁數
- 60頁
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 40577-2021
- 本體
- 可用性
本文件規定了集成電路(IC)制造設備的基本和常用術語,包括基礎術語,晶體生長加工設備、掩模制造設備、光刻與刻蝕設備、摻雜設備、薄膜淀積設備、清洗設備、封裝設備、檢測設備的術語及公用部件術語。 本文件適用于集成電路制造設備的設計開發、生產和應用,也適用于集成電路制造設備的科研、教學和出版工作。
GB/T 40577-2021 中提到的儀器設備
| 單晶生長爐 | 以高溫熔化方法由原材料制備或提純單質或化合物半導體單晶錠的設備 |
| 截斷機 | 通過切割,對單晶棒進行去頭部、尾部、取樣片、切段的一種晶體加工設備 |
| 液封直拉單晶爐 | 利用過壓惰性氣體及漂浮于熔體表面的液態封蓋劑來維持合成條件,并阻止高蒸氣壓元素揮發,以拉制GaAs或其他化合物單晶錠的直拉單晶爐 |
| 直拉單晶爐 | 在適當的溫度和工作氣氛控制下,將特制的單晶籽晶與熔化于坩堝內的高純多晶材料相接觸,并在籽晶與坩堝的相對旋轉中按一定速度垂直向上提拉籽晶,使熔體不斷沿籽晶晶向結晶,直接拉制成單晶錠的設備 |
| 磁場直拉單晶爐 | 在熔化硅料的坩堝外圍,施加有效磁場,抑制熔料的熱對流,以控制晶體的氧、碳含量,改善晶體的微缺陷,從而達到提高晶體質量目的的直拉單晶爐 |
專題
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