SJ/T 10152-1991
集成電路主要工藝設備術語
Terms Relating to Main Equipment for Integrated Circuit Technologies
SJT10152-1991, SJ10152-1991
- 標準號
- SJ/T 10152-1991
- 別名
- SJT10152-1991, SJ10152-1991
- 發布
- 1991年
- 發布單位
- 行業標準-電子
- 當前最新
- SJ/T 10152-1991
- 適用范圍
- 本標準規定了半尋體集成電路制造工序主要生產設備的有關術語及定義。 本標準適用于半導體集成電路制造工序主要生產設備的研究、生產、使用、檢驗、教學和技術交流。
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