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  • ASTM E2530-06
    用Si(111)單原子層級對原子力顯微鏡進行次納米位移級的Z倍率校準的標準規程

    Standard Practice for Calibrating the Z-Magnification of an Atomic Force Microscope at Subnanometer Displacement Levels Using Si(111) Monatomic Steps

    2015-01

    標準號
    ASTM E2530-06
    發布
    2006年
    發布單位
    美國材料與試驗協會
    當前最新
    ASTM E2530-06
     
     
    適用范圍
    仔細使用此實踐可以產生可追溯至 SI 長度單位的校準 z 放大率,在約 1 nm 的高度范圍內不確定性 (k = 2) 約為 7%。
    1.1 此實踐涵蓋了校準 z 尺度的測量程序使用 Si(111) 單原子階梯高度樣品的原子力顯微鏡。
    1.2 應用 當原子力顯微鏡 (AFM) 在其最高水平的 z 放大倍數(即在z 位移的納米和亞納米范圍。當 AFM 用于測量半導體、光學表面和其他高科技部件的表面時,需要這些測量范圍。
    1.3 以 SI 單位表示的值應視為標準。括號中給出的值僅供參考。
    1.4 本標準并不旨在解決與其使用相關的所有安全問題(如果有)。本標準的使用者有責任在使用前建立適當的安全和健康實踐并確定監管限制的適用性。

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