GB/T 27760-2011
利用Si（111）晶面原子臺階對原子力顯微鏡亞納米高度測量進行校準的方法
Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using Si(111) monatomic steps
GBT27760-2011, GB27760-2011
- 標準號
- GB/T 27760-2011
- 別名
- GBT27760-2011, GB27760-2011
- 發布
- 2011年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 27760-2011
- 引用標準
- ISO 25178-6:2010 ISO/IEC Guide 98-3:2008 ISO/TS 21748:2004
- 適用范圍
- 本標準規定了利用Si(111)唱面原子臺階高度樣品校準原子力顯微鏡=向標度的測量方法。 本標準適用于在大氣或真空環境下工作的原子力顯微鏡,并且其=向放大倍率達到最大量級,即>向位移在納米和亞納米范圍內,這是原子力顯微鏡用于檢測半導體表面,光學器件表面和其他高科技元件表面中經常用到的檢測范圍。 本標準并未指出所有可能的安全問題,在應用本標準之前,使用者有責任采取適當的安全和健康措施,并保證符合國家有關法規規定的條件。 注:本標準中以國際單位制規定的數值作為標準值,括號內插人的數值僅供參考。
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