GB/T 27760-2011
利用Si（111）晶面原子臺階對原子力顯微鏡亞納米高度測量進行校準的方法
Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using Si(111) monatomic steps
GB/T 27760-2011 中，可能用到以下儀器
- 標準號
- GB/T 27760-2011
- 發布日期
- 2011年12月30日
- 實施日期
- 2012年05月01日
- 廢止日期
- 無
- 中國標準分類號
- N04
- 國際標準分類號
- 19.020
- 發布單位
- CN-GB
- 引用標準
- ISO 25178-6-2010 ISO/IEC Guide 98-3-2008 ISO/TS 21748-2004
- 適用范圍
- 本標準規定了利用Si(111)晶面原子臺階高度樣品校準原子力顯微鏡z向標度的測量方法。 本標準適用于在大氣或真空環境下工作的原子力顯微鏡,并且其z 向放大倍率達到最大量級,即z向位移在納米和亞納米范圍內,這是原子力顯微鏡用于檢測半導體表面,光學器件表面和其他高科技元件表面中經常用到的檢測范圍。 本標準并未指出所有可能的安全問題,在應用本標準之前,使用者有責任采取適當的安全和健康措施,并保證符合國家有關法規規定的條件。