GB/T 31227-2014
原子力顯微鏡測量濺射薄膜表面粗糙度的方法
Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
GBT31227-2014, GB31227-2014
- 標準號
- GB/T 31227-2014
- 別名
- GBT31227-2014, GB31227-2014
- 發布
- 2014年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 31227-2014
- 引用標準
- GB/T 27760-2011
- 適用范圍
- 本標準規定了使用原子力顯微鏡(AFM)測量表面粗糙度的方法。本標準適用于測量濺射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100 nm的薄膜。其他非濺射薄膜的表面粗糙度的測量可以參考此方法。
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