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JIS R 1683:2007
用原子力顯微鏡方法測定陶瓷薄膜表面粗糙度的試驗方法

Test method for surface roughness of ceramic thin films by atomic force microscopy

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標準號: JIS R 1683:2007
發布: 2007年
發布單位: 日本工業標準調查會
替代標準: JIS R 1683:2014
當前最新: JIS R 1683:2014

引用標準: JIS B 0601 JIS B 0633 JIS B 0651 JIS Z 8401

適用范圍: この規格は，基板上に形成したファインセラミックス薄膜の表面形狀のうち，算術平均粗さRaの範囲が1~3O nm，かつ，粗さ曲線要素の平均長さRSmの範囲がO.04~2.5 μmの表面粗さを，原子間力顕微鏡によって測定する方法について規定する。

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