JIS R1683-2007
用原子力顯微鏡方法測定陶瓷薄膜表面粗糙度的試驗方法

Test method for surface roughness of ceramic thin films by atomic force microscopy

JIS R1683-2007 發布歷史

この規格は，基板上に形成したファインセラミックス薄膜の表面形狀のうち，算術平均粗さRaの範囲が1~3O nm，かつ，粗さ曲線要素の平均長さRSmの範囲がO.04~2.5 μmの表面粗さを，原子間力顕微鏡によって測定する方法について規定する。

JIS R1683-2007由日本工業標準調查會 JP-JISC 發布于 2007-11-20。

JIS R1683-2007 在中國標準分類中歸屬于: Q32 特種陶瓷，在國際標準分類中歸屬于: 81.060.30 高級陶瓷。

JIS R1683-2007 發布之時，引用了標準

• JIS B0601 產品幾何技術規范(GPS).表面紋理:剖面法.術語,定義和表面紋理參數*， 2013-03-21 更新
• JIS B0633 產品幾何量技術規范(GPS).表面結構:輪廓法.表面結構評定規則和程序
• JIS B0651 產品幾何量技術規范(GPS).表面結構:輪廓法.觸針式儀器的標稱特性
• JIS Z8401 數值圓整指南

* 在 JIS R1683-2007 發布之后有更新，請注意新發布標準的變化。

JIS R1683-2007的歷代版本如下：

• 2007年11月20日 JIS R1683-2007 用原子力顯微鏡方法測定陶瓷薄膜表面粗糙度的試驗方法
• 2014年10月20日 JIS R1683-2014 用原子力顯微鏡方法測定陶瓷薄膜表面粗糙度的試驗方法

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標準號

JIS R1683-2007

發布日期

2007年11月20日

實施日期

廢止日期

無

中國標準分類號

Q32

國際標準分類號

81.060.30

發布單位

JP-JISC

引用標準

JIS B0601 JIS B0633 JIS B0651 JIS Z8401

代替標準

JIS R1683-2014

適用范圍

この規格は，基板上に形成したファインセラミックス薄膜の表面形狀のうち，算術平均粗さRaの範囲が1~3O nm，かつ，粗さ曲線要素の平均長さRSmの範囲がO.04~2.5 μmの表面粗さを，原子間力顕微鏡によって測定する方法について規定する。