GB/T 27760-2011
利用Si（111）晶面原子臺階對原子力顯微鏡亞納米高度測量進行校準的方法
Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using Si(111) monatomic steps
GBT27760-2011, GB27760-2011
GB/T 27760-2011 發布歷史
GB/T 27760-2011由國家質檢總局 CN-GB 發布于 2011-12-30，并于 2012-05-01 實施。
GB/T 27760-2011 在中國標準分類中歸屬于: N04 基礎標準與通用方法，在國際標準分類中歸屬于: 19.020 試驗條件和規程綜合。
GB/T 27760-2011 利用Si（111）晶面原子臺階對原子力顯微鏡亞納米高度測量進行校準的方法的最新版本是哪一版？
最新版本是 GB/T 27760-2011 。
GB/T 27760-2011 發布之時，引用了標準
- ISO 25178-6:2010 產品的幾何技術規范(GPS).表面紋理:表面的.第6部分:表面紋理測量方法的分類
- ISO/IEC Guide 98-3:2008 測量的不確定性.第3部分:測量不確定性的表達指南(GUM-1995)
- ISO/TS 21748:2004 測量不確定估計的重復性、再現性和真實評估值的使用的指南
GB/T 27760-2011的歷代版本如下：
- 2011年 GB/T 27760-2011 利用Si（111）晶面原子臺階對原子力顯微鏡亞納米高度測量進行校準的方法
本標準規定了利用Si(111)唱面原子臺階高度樣品校準原子力顯微鏡=向標度的測量方法。 本標準適用于在大氣或真空環境下工作的原子力顯微鏡,并且其=向放大倍率達到最大量級,即>向位移在納米和亞納米范圍內,這是原子力顯微鏡用于檢測半導體表面,光學器件表面和其他高科技元件表面中經常用到的檢測范圍。 本標準并未指出所有可能的安全問題,在應用本標準之前,使用者有責任采取適當的安全和健康措施,并保證符合國家有關法規規定的條件。 注:本標準中以國際單位制規定的數值作為標準值,括號內插人的數值僅供參考。
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- 標準號
- GB/T 27760-2011
- 別名
- GBT27760-2011
GB27760-2011 - 發布
- 2011年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 27760-2011
- 引用標準
- ISO 25178-6:2010 ISO/IEC Guide 98-3:2008 ISO/TS 21748:2004