ISO 14644-3:2019/Amd 1:2020
潔凈室和相關受控環境 第3部分：測試方法
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods
- 標準號
- ISO 14644-3:2019/Amd 1:2020
- 發布
- 2020年
- 發布單位
- 國際標準化組織
- 當前最新
- ISO 14644-3:2019/Amd 1:2020
- 適用范圍
- 本文件提供了支持潔凈室和潔凈區運行的測試方法，以滿足空氣潔凈度分類、其他潔凈度屬性和相關受控條件的要求。 性能測試針對兩種類型的潔凈室和潔凈區：具有單向氣流的潔凈室和潔凈區和具有非單向氣流的潔凈室和潔凈區，并在三種可能的占用狀態下進行：竣工狀態、靜止狀態和運行狀態。 提供了用于確定性能參數的測試方法、推薦的測試設備和測試程序。 如果測試方法受到潔凈室或潔凈區類型的影響，建議采用替代程序。 對于某些測試，建議使用幾種不同的方法和設備來適應不同的最終用途考慮因素。 經客戶和供應商同意，可以使用本文件中未包含的替代方法。 替代方法不一定提供等效的測量結果。 本文件不適用于潔凈室、潔凈區或獨立設備中的產品或過程的測量。 注：本文件無意解決與其使用相關的安全注意事項（例如，使用危險材料、操作和設備時）。 本文件的用戶有責任建立適當的安全和健康實踐，并在使用前確定監管限制的適用性。
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