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AS ISO 14644.3:2021
潔凈室和相關受控環境第 3 部分：測試方法

Cleanrooms and associated controlled environments, Part 3: Test methods

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標準號: AS ISO 14644.3:2021
發布: 2021年
發布單位: 澳大利亞標準協會
當前最新: AS ISO 14644.3:2021

適用范圍: 同樣采用ISO 14644 3:2019，它提供了支持潔凈室和潔凈區運行的測試方法，以滿足空氣潔凈度分類、其他潔凈度屬性和相關受控條件。關鍵詞：潔凈室；受控環境；屬性;測試方法

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