ISO 14644-5:2004
潔凈室和相關控制環境.第5部分:操作
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 5: Operations
- 標準號
- ISO 14644-5:2004
- 發布
- 2004年
- 中文版
- GB/T 25915.5-2010 (等同采用的中文版本)
- 發布單位
- 國際標準化組織
- 當前最新
- ISO 14644-5:2004
- 引用標準
- ISO 14644-1:1999 ISO 14644-2:2000 ISO 14644-3 ISO 14644-4:2001 ISO 14698-1:2003 ISO 14698-2:2003
- 適用范圍
- ISO 14644 的這一部分規定了潔凈室操作的基本要求。 它適用于那些計劃使用和操作潔凈室的人。 ISO 14644 的本部分不考慮與污染控制沒有直接關系的安全方面，必須遵守國家和當地的安全法規。 本文件考慮了用于生產所有類型產品的所有類別的潔凈室。 因此，它的應用范圍很廣，并沒有解決個別行業的特定要求。 ISO 14644 的本部分未詳細介紹潔凈室內常規監測的方法和程序，但參考 ISO 14644-2 和 ISO 14644-3 監測顆粒，參考 ISO 14698-1 和 ISO 14698-2 監測微量元素。 有機體。