ISO 14644-2:2000
潔凈室和相關控制環境 第2部分:與ISO 14644-1連續相配位的檢測和監控規范
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1
- 標準號
- ISO 14644-2:2000
- 發布
- 2000年
- 中文版
- GB/T 25915.2-2010 (等同采用的中文版本)
- 發布單位
- 國際標準化組織
- 替代標準
- ISO 14644-2:2015
- 當前最新
- ISO 14644-2:2015
- 引用標準
- ISO 14644-1:1999 ISO 14644-3
- 適用范圍
- ISO 14644 的這一部分規定了對潔凈室或潔凈區進行定期測試的要求，以證明其持續符合 ISO 14644-1 指定的空氣顆粒潔凈度分類。 這些要求調用 ISO 14644-1 中描述的測試來對潔凈室或潔凈區進行分類。 還指定了根據 ISO 14644 本部分的要求進行的附加測試。 還確定了由用戶自行決定應用的可選測試。 ISO 14644 的這一部分還規定了潔凈室或潔凈區（以下簡稱裝置）的監控要求，以提供其持續符合 ISO 14644-1 指定的空氣顆粒潔凈度分類的證據。
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