ISO 14644-2:2015
潔凈室和相關控制環境. 第2部分: 用粒子濃度監測提供與空氣潔凈度相關的潔凈室性能的證據
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
- 標準號
- ISO 14644-2:2015
- 發布
- 2015年
- 中文版
- GB/T 25915.2-2021 (等同采用的中文版本)
- 發布單位
- 國際標準化組織
- 當前最新
- ISO 14644-2:2015
- 引用標準
- ISO 14644-12 ISO 14644-1:2015 ISO 14644-3:2005 ISO 14644-4:2001 ISO 21501-4:2007 ISO 31000:2009
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