ISO 14644-3:2005
潔凈室和相關控制環境.第3部分:試驗方法
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods
- 標準號
- ISO 14644-3:2005
- 發布
- 2005年
- 中文版
- GB/T 25915.3-2010 (等同采用的中文版本)
- 發布單位
- 國際標準化組織
- 替代標準
- ISO 14644-3:2019
- 當前最新
- ISO 14644-3:2019/Amd 1:2020
- 引用標準
- ISO 7726:1998
- 適用范圍
- ISO 14644 的這一部分規定了空氣顆粒潔凈度指定分類以及表征潔凈室和潔凈區性能的測試方法。 性能測試針對兩種類型的潔凈室和潔凈區：單向流和非單向流，在三種可能的占用狀態：竣工狀態、靜止狀態和運行狀態。 測試方法推薦了用于確定性能參數的測試裝置和測試程序。 如果測試方法受到潔凈室或潔凈區類型的影響，建議采用替代程序。 對于某些測試，建議使用幾種不同的方法和設備來適應不同的最終用途考慮因素。 如果基于客戶和供應商之間的協議，可以使用 ISO 14644 本部分中未包含的替代方法。 替代方法不一定提供等效的測量結果。 ISO 14644 的這一部分不適用于潔凈室或獨立設備中的產品或過程的測量。
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