ANSI/IEST/ISO 14644-3:2005
潔凈室及其相關控制環境.第3部分:試驗方法

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods

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標準號: ANSI/IEST/ISO 14644-3:2005
發布: 2006年
發布單位: 美國國家標準學會
當前最新: ANSI/IEST/ISO 14644-3:2005

適用范圍: ISO 14644 的這一部分規定了空氣顆粒潔凈度指定分類以及表征潔凈室和潔凈區性能的測試方法。性能測試針對兩種類型的潔凈室和潔凈區：單向流和非單向流，在三種可能的占用狀態：竣工狀態、靜止狀態和運行狀態。測試方法推薦了用于確定性能參數的測試裝置和測試程序。

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