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  • GB/T 25915.2-2010
    潔凈室及相關受控環境.第2部分:證明持續符合GB/T 25915.1的檢測與監測技術條件

    Cleanrooms and associated controlled environments.Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with GB/T 25915.1

    GBT25915.2-2010, GB25915.2-2010

    2022-03

    標準號
    GB/T 25915.2-2010
    別名
    GBT25915.2-2010, GB25915.2-2010
    發布
    2011年
    采用標準
    ISO 14644-2:2000 IDT
    發布單位
    國家質檢總局
    替代標準
    GB/T 25915.2-2021
    當前最新
    GB/T 25915.2-2021
     
     
    引用標準
    GB/T 25915.1-2010 GB/T 25915.3-2010
    適用范圍
    GB/T 25915的本部分規定了對潔凈室或潔凈區進行定期檢測的要求,以證明其持續符合GB/T 25915.1中規定的空氣懸浮粒子濃度等級。 這些要求包括GB/T 25915.1說明的潔凈室或潔凈區的分級檢測。此外,還規定了按本部分要求實施的其他檢測項目。可按用戶要求實施的可選檢測項目,本部分也做了說明。 本部分還規定了對潔凈室或潔凈區(以下簡稱“設施”)進行監測的要求,以提供其持續符合GB/T 25915.1中規定的空氣懸浮粒子濃度等級的證據。

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