GB/T 25915.15-2022
潔凈室及相關受控環境 第15部分： 按氣態化學物濃度評定設備及材料的適用性
Cleanrooms and Related Controlled Environments Part 15: Suitability of Equipment and Materials Based on Gaseous Chemical Concentrations
GBT25915.15-2022, GB25915.15-2022
- 標準號
- GB/T 25915.15-2022
- 別名
- GBT25915.15-2022, GB25915.15-2022
- 發布
- 2022年
- 總頁數
- 24頁
- 采用標準
- ISO 14644-15:2017 IDT
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 25915.15-2022
- 引用標準
- GB/T 25915.8-2021
- 適用范圍
- 本文件規定了評定潔凈室及相關受控環境中設備和材料的適用性要求,提供了指南。 本文件不適用于以下內容: ———健康和安全要求; ———清潔劑及清潔技術的相容性; ———清潔性; ———生物污染; ———工藝和產品對設備和材料的特定要求; ———設備的設計細節。
| 術語 | 描述 |
|---|---|
| 空氣化學污染 air chemical contamination | 存在于空氣中，其化學特性可對產品、工藝、設備有不良影響的任何非顆粒化學物。 |
| 按化學物濃度劃分的空氣潔凈度 air cleanliness by chemical concentration (ACC) | 以ISO-ACC表示的代表給定的某種或某組化學物種類、以克每立方米為單位的最大允許濃度。 |
| 最大載氣量 breakthrough volume | 特定溫度下，可從采樣裝置抽取的、不產生分析物損失的最大吹氣量。 |
| 化學污染物 chemical contaminants | 危害產品、工藝、設備的非顆粒物質。 |
| 潔凈度 cleanliness | 污染物濃度控制在一定限值以內的狀態。 |
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