GB/T 25915.15-2022
潔凈室及相關受控環境 第15部分： 按氣態化學物濃度評定設備及材料的適用性
Cleanrooms and Related Controlled Environments Part 15: Suitability of Equipment and Materials Based on Gaseous Chemical Concentrations
GBT25915.15-2022, GB25915.15-2022
GB/T 25915.15-2022 中，可能用到以下儀器
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- 標準號
- GB/T 25915.15-2022
- 別名
- GBT25915.15-2022
GB25915.15-2022 - 發布
- 2022年
- 采用標準
- ISO 14644-15:2017 IDT
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 25915.15-2022
- 引用標準
- GB/T 25915.8-2021
本文件規定了評定潔凈室及相關受控環境中設備和材料的適用性要求,提供了指南。 本文件不適用于以下內容: ———健康和安全要求; ———清潔劑及清潔技術的相容性; ———清潔性; ———生物污染; ———工藝和產品對設備和材料的特定要求; ———設備的設計細節。
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