GB/T 25915.13-2022
潔凈室及相關受控環境 第13部分：達到粒子和化學潔凈度要求的表面清潔

Cleanrooms and associated controlled environments—Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications

GBT25915.13-2022, GB25915.13-2022

標準號

GB/T 25915.13-2022

別名

GBT25915.13-2022, GB25915.13-2022

發布

2022年

采用標準

ISO 14644-13:2017 IDT

發布單位

國家質檢總局

當前最新

GB/T 25915.13-2022

 

 

引用標準

ISO 14644-8 ISO 14644-9

適用范圍

本文件提供了潔凈室表面、設備表面和材料表面達到所需潔凈度的清潔指導。 本文件中的表面涉及所有表面(外表面、內表面)。 本文件提供評估達到表面潔凈度的粒子濃度(SCP)和表面化學潔凈度的化學物濃度(SCC)潔凈度的所需清潔方法,以及達到規定潔凈度宜考慮的清潔技術。ISO14644.9 和ISO14644.10 給出了清潔技術的適宜率和相關檢測方法。 本文件包含以下一般性指南: ———表面目標潔凈度等級; ———清潔方法的適用性; ———表面與清潔技術的相容性; ———清潔方法適宜度的評估。 本文件不包含以下事項: ———清潔方法的分類; ———潔凈室內生產的產品; ———與特定表面相關的具體清潔方法; ———各種清潔方法的清潔機制、具體方法和規程的詳細說明; ———材料特性的詳細說明; ———清潔工序和清潔時間對表面破壞的機制; ———污染物與表面間的黏附力,以及通常與時間和工藝相關的黏附過程; ———粒子的其他特性,如靜電、離子等; ———分子污染物與表面的化學反應; ———表面微生物; ———放射性污染; ———健康、安全; ———環境因素,如:廢物處理、排放等; ———統計方法的選用。

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