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    • NF EN ISO 14644-13:2017
    潔凈室和相關受控環境 - 第 13 部分：表面清潔以達到顆粒物和化學分類的清潔度水平

    Cleanrooms and related controlled environments - Part 13: cleaning of surfaces to achieve levels of cleanliness relative to particulate and chemical classifications


     

     

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    標準號
    NF EN ISO 14644-13:2017
    發布
    2017年
    發布單位
    法國標準化協會
    當前最新
    NF EN ISO 14644-13:2017
     
     

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    推薦

    ISO14644《潔凈室及其相關受控環境》標準組成

    　　按化學物濃度對表面清潔度進行分類 　　2013 　　根據化學化合物或元素的存在情況定義潔凈室表面潔凈度的分類系統 　　ISO14644-12 　　通過納米級顆粒濃度監測空氣潔凈度的指南 　　2018 　　根據懸浮納米級顆粒物濃度的空氣潔凈度的監測 　　ISO14644-13 　　對表面進行清潔以便達到規定的顆粒物和化學物潔凈度 　　2017 　　用清潔劑處理潔凈室表面、潔凈室設備表面和潔凈室中材料表面的特定清潔程度...


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