GB/T 6616-2023
半導體晶片電阻率及半導體薄膜薄層電阻的測試 非接觸渦流法
Non-contact eddy current method for testing semiconductor wafer resistivity and semiconductor film sheet resistance
GBT6616-2023, GB6616-2023
- 標準號
- GB/T 6616-2023
- 別名
- GBT6616-2023, GB6616-2023
- 發布
- 2023年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 6616-2023
- 被代替標準
- GB/T 6616-2009
GB/T 6616-2023相似標準
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