BS EN ISO 14644-13:2017
潔凈室和相關控制環境 - 第13部分：清潔表面以達到在顆粒和化學分類方面確定的清潔度
Cleanrooms and associated controlled environments. Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications
- 標準號
- BS EN ISO 14644-13:2017
- 發布
- 2017年
- 發布單位
- 英國標準學會
- 當前最新
- BS EN ISO 14644-13:2017
- 引用標準
- ASTM D6361/D6361M-98(2015) ASTM E2042/E2042M-09(2016) ASTM G122-96(2015) E1 ISO 14644-10:2013 ISO 14644-1:2015 ISO 14644-8:2013 ISO 14644-9:2012 SAE AMS03-2
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