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  • ISO 14644-8:2013
    凈化室和相關控制環境.第8部分:空氣傳播分子污染物(ACC)分類

    Cleanrooms and associated controlled environments - Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)


    標準號
    ISO 14644-8:2013
    發布
    2013年
    中文版
    GB/T 25915.8-2021 (等同采用的中文版本)
    發布單位
    國際標準化組織
    替代標準
    ISO 14644-8:2022
    當前最新
    ISO 14644-8:2022
     
     
    引用標準
    ISO 14644-6
    適用范圍
    ISO 14644 的這一部分根據特定化學物質(個體、群體或類別)的空氣濃度,建立了潔凈室和相關受控環境中空氣化學清潔度 (ACC) 的分類,并提供了包括測試方法、分析和時間的協議-分類規范內的加權因素。 ISO 14644 的這一部分目前僅考慮潔凈室操作條件下空氣化學污染物的濃度在 100 至 10?12 g/m3 之間。 ISO 14644 的這一部分與那些空氣中化學物質的存在不被認為對產品或過程構成風險的行業、過程或生產中的應用無關。 ISO 14644 這一部分的目的不是描述空氣化學污染物的性質。 ISO 14644 的這一部分沒有給出表面化學污染的分類。

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